虞晓云
研究员
毕业院校：瑞士洛桑联邦理工学院
美国斯坦福大学
美国斯坦福大学
研究方向：先进光刻工艺
FUDAN BEAR LAB
导师简介
熊诗圣
熊诗圣，现任复旦大学未来信息创新学院研究员、讲座教授、博士生导师，获国务院特殊津贴。曾获评上海市领军人才、上海市优秀学术带头人，获上海市先进工作者称号及五一劳动奖章；目前担任中国光学学会光刻专委会委员、中国感光学会委员、中国机械工程学会极端制造分委会委员。
多年来一直从事导向自组装光刻技术(Directed self-assembly, DSA)用于10纳米以下高分辨率半导体制造方面的工作。通过与国内外半导体企业长期合作，开发用于先进逻辑及存储芯片的工艺，推动半导体行业的“摩尔定律”向深纳米尺寸前进。主要研究方向为光刻图形化工艺、新型存储器件、人工智能与计算光刻。
作为项目负责人，他牵头承担了多项国家级重大、重点科研项目。学术成果方面，已在《Nature Nanotechnology》、《Nature Communications》等顶级期刊发表论文150余篇，申请国内外专利100余项。
多次参与国家自然科学基金委“双清论坛”，担任科技部2030重大专项评审专家，为行业发展建言献策。其工作曾获《中国新闻网》、《科技日报》等权威媒体的专访与深度报道。
邮箱
sxiong@fudan.edu.cn
办公室
复旦大学江湾校区（杨浦区淞沪路2005号）交叉学科二号楼 B7019
课题组成员
李自力
青年副研究员
毕业院校：中国科学技术大学
美国佐治亚理工学院
美国佐治亚理工学院
研究方向：先进光刻工艺
曾维轩
副研究员
毕业院校：武汉大学
英国剑桥大学
英国剑桥大学
研究方向：计算仿真
张兴淼
副研究员
毕业院校：复旦大学
研究方向：先进光刻工艺
杨艳琼
副研究员
毕业院校：日本大阪大学
日本东京大学
日本东京大学
研究方向：先进光刻材料
曹中涵
副研究员
毕业院校：新加坡国立大学
研究方向：器件与电路设计
高升广
博士后
许艳婷
博士后
吴智勇
博士后
学生名录
先进工艺与器件
罗先才
先进光刻工艺
张祎梣
先进光刻工艺
罗嘉诚
先进光刻工艺
韩舒沁
先进光刻工艺
张晨然
先进光刻工艺
朱良康
先进光刻工艺
卓梓鑫
先进光刻工艺
李嘉翔
先进光刻工艺
张启蒙
半导体器件工艺
黄思棋
先进光刻工艺
吴坤格
先进光刻工艺
张梦君
先进光刻工艺
牛慕樵
先进光刻工艺
王雨轩
先进光刻工艺
何佳蔓
先进光刻工艺
赵世武
半导体器件工艺
文孟坪
先进光刻工艺
侯莫瑶
先进光刻工艺
韩董浩
先进光刻工艺
陈熙
先进光刻工艺
广婷
先进光刻工艺
张会
先进光刻工艺
王馨彤
先进光刻工艺
陈泓文
先进光刻材料
AI for Science
王浩宇
计算光刻与版图优化
冯宇
计算光刻与版图优化
徐奕明
量测与缺陷检测
张芮珩
计算仿真
牛圣儒
量测与缺陷检测
张之怀
计算仿真
高兴亮
光学量测与检测技术
吴佳霖
计算仿真
王嘉骏
计算仿真
吴自浪
计算仿真
周域威
机器人与算法
尚采薇
计算光刻
蒋曦亭
计算仿真
吴屹昊
计算光刻
周李益
计算光刻
史牧昊
计算仿真
何炜毅
光学量测与检测技术
严浩玮
量测与缺陷检测
杜佳璐
计算仿真
徐梓瑞
光学量测与检测技术
邹黎
计算光刻
谢明言
计算光刻
刘亚男
计算仿真
王佳佳
计算仿真
吴泽琳
计算仿真
AI加速芯片
彭一航
电路系统设计
何双淋
电路系统设计
王成杰
电路系统设计
罗心妤
电路系统设计
李洁
类脑器件及感存算系统
迟宇航
AI芯片器件
殷泽众
AI芯片器件
黄祥龙
电路系统设计
庞翊森
电路系统设计