李自力
青年副研究员
熊诗圣,现任复旦大学信息科学与工程学院研究员,复旦大学讲座教授,博士生导师,中国光学学会光刻专委会委员,中国感光学会委员,中国机械工程学会极端制造分委会委员。
多年来一直从事亚10纳米光刻工艺方面的工作,推动半导体行业的“摩尔定律”向深纳米尺寸前进。通过与国内外半导体企业长期合作,致力于开发用于先进逻辑及存储芯片的导向自组装光刻工艺。主要研究方向为光刻图形化工艺、新型存储器件、人工智能与计算光刻。
先后承担各类重大重点项目,总经费超亿元。共发表SCI论文80余篇,撰写专著一本,申请国内外专利二十余项。多次参加基金委双清论坛,担任科技部2030重大专项评审专家。曾接受中国新闻网,科技日报等媒体专访及重点报道。
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