李自力
青年副研究员
毕业院校：中国科学技术大学
美国佐治亚理工学院
美国佐治亚理工学院
研究方向：先进光刻工艺
FUDAN BEAR LAB
导师简介
熊诗圣
熊诗圣，现任复旦大学未来信息创新学院研究员、讲座教授、博士生导师，获国务院特殊津贴。曾获评上海市领军人才、上海市优秀学术带头人，获上海市先进工作者称号及五一劳动奖章；目前担任中国光学学会光刻专委会委员、中国感光学会委员、中国机械工程学会极端制造分委会委员。
多年来一直从事导向自组装光刻技术(Directed self-assembly, DSA)用于10纳米以下高分辨率半导体制造方面的工作。通过与国内外半导体企业长期合作，开发用于先进逻辑及存储芯片的工艺，推动半导体行业的“摩尔定律”向深纳米尺寸前进。主要研究方向为光刻图形化工艺、新型存储器件、人工智能与计算光刻。
作为项目负责人，他牵头承担了多项国家级重大、重点科研项目。学术成果方面，已在《Nature Nanotechnology》、《Nature Communications》等顶级期刊发表论文100余篇，撰写专著1本，并申请国内外专利60余项。
多次参与国家自然科学基金委“双清论坛”，担任科技部2030重大专项评审专家，为行业发展建言献策。其工作曾获《中国新闻网》、《科技日报》等权威媒体的专访与深度报道。
邮箱
sxiong@fudan.edu.cn
办公室
复旦大学江湾校区（杨浦区淞沪路2005号）交叉学科二号楼 B7019
课题组成员
许晓斌
研究员（张江实验室）
毕业院校：美国德州大学奥斯汀分校
美国加州大学洛杉矶分校
美国加州大学洛杉矶分校
研究方向：先进光刻工艺
虞晓云
副研究员（张江实验室）
毕业院校：瑞士洛桑联邦理工学院
美国斯坦福大学
美国斯坦福大学
研究方向：先进光刻工艺
曾维轩
副研究员（张江实验室）
毕业院校：武汉大学
英国剑桥大学
英国剑桥大学
研究方向：计算仿真
曹中涵
副研究员（张江实验室）
毕业院校：新加坡国立大学
研究方向：器件与电路设计
张兴淼
副研究员（张江实验室）
毕业院校：复旦大学
研究方向：先进光刻工艺
高升广
博士后
许艳婷
博士后
吴智勇
博士后
学生名录
先进工艺与器件
罗先才
先进光刻工艺
徐兴冉
先进光刻工艺
张祎梣
先进光刻工艺
罗嘉诚
先进光刻工艺
韩舒沁
先进光刻工艺
张晨然
先进光刻工艺
朱良康
先进光刻工艺
卓梓鑫
先进光刻工艺
李嘉翔
先进光刻工艺
张启蒙
半导体器件工艺
黄思棋
先进光刻工艺
吴坤格
先进光刻工艺
张梦君
先进光刻工艺
牛慕樵
先进光刻工艺
王雨轩
先进光刻工艺
苗玉坡
先进光刻工艺
何佳蔓
先进光刻工艺
赵世武
半导体器件工艺
文孟坪
先进光刻工艺
何炜毅
先进光刻工艺
侯莫瑶
先进光刻工艺
韩董浩
先进光刻工艺
计算仿真与电路设计
王浩宇
计算光刻与版图优化
冯宇
计算光刻与版图优化
徐奕明
量测与缺陷检测
张芮珩
计算仿真
陈镜宇
计算仿真
牛圣儒
量测与缺陷检测
张之怀
计算仿真
彭一航
电路系统设计
吴佳霖
计算仿真
高兴亮
光学测量检测技术
王嘉骏
计算仿真
吴自浪
计算仿真
周域威
机器人与算法
尚采薇
计算光刻
蒋曦亭
计算仿真
周李益
计算光刻
史牧昊
计算仿真
严浩玮
量测与缺陷检测
何双淋
电路系统设计
王成杰
电路系统设计