李自力
青年副研究员
FUDAN BEAR LAB
导师简介
熊诗圣
熊诗圣，现任复旦大学信息科学与工程学院研究员，复旦大学讲座教授，博士生导师，中国光学学会光刻专委会委员，中国感光学会委员，中国机械工程学会极端制造分委会委员。
多年来一直从事亚10纳米光刻工艺方面的工作，推动半导体行业的“摩尔定律”向深纳米尺寸前进。通过与国内外半导体企业长期合作，致力于开发用于先进逻辑及存储芯片的导向自组装光刻工艺。主要研究方向为光刻图形化工艺、新型存储器件、人工智能与计算光刻。
先后承担各类重大重点项目，总经费超亿元。共发表SCI论文80余篇，撰写专著一本，申请国内外专利二十余项。多次参加基金委双清论坛，担任科技部2030重大专项评审专家。曾接受中国新闻网，科技日报等媒体专访及重点报道。
邮箱
sxiong@fudan.edu.cn
办公室
复旦大学江湾校区（杨浦区淞沪路2005号）交叉学科二号楼 B7019
课题组成员
许晓斌
研究员（张江实验室）
虞晓云
副研究员（张江实验室）
曾维轩
副研究员（张江实验室）
曹中涵
副研究员（张江实验室）
张兴淼
副研究员（张江实验室）
高升广
博士后
许艳婷
博士后
吴智勇
博士后
学生名录
先进工艺与器件
薛龙龙
先进光刻工艺
罗先才
先进光刻工艺
徐兴冉
先进光刻工艺
湛江浩
先进光刻工艺
张祎梣
先进光刻工艺
罗嘉诚
先进光刻工艺
韩舒沁
先进光刻工艺
张晨然
先进光刻工艺
朱良康
先进光刻工艺
卓梓鑫
先进光刻工艺
李嘉翔
先进光刻工艺
张启蒙
半导体器件工艺
黄思棋
先进光刻工艺
吴坤格
先进光刻工艺
张梦君
先进光刻工艺
计算仿真与电路设计
王浩宇
计算光刻与版图优化
李金雨
电路系统设计
冯宇
计算光刻与版图优化
徐奕明
量测与缺陷检测
张芮珩
计算仿真
陈镜宇
计算仿真
牛圣儒
量测与缺陷检测
张之怀
计算仿真
彭一航
电路系统设计
吴佳霖
计算仿真
高兴亮
光学测量检测技术